خلفية العميل
شركة أشباه موصلات بدون مصنع تقوم بتعهيد إنتاج رقائقها المتقدمة. لم تتمكن غرفة نظيفة موجودة لديهم من تلبية متطلبات الاهتزاز ونقاء الهواء الصارمة للتصوير الضوئي بالغمر بطول موجي 193 نانومتر، مما تسبب في خسارة في الإنتاج.
الاحتياجات والتحديات
•تصنيف ISO Class 5 (Class 100) عند سطح الرقاقة.
•تحكم صارم في درجة الحرارة: 22 ± 0.1 درجة مئوية عبر منطقة التصوير الضوئي.
•فترة توقف قصيرة: شهر واحد فقط متاح لتحديث المنطقة الحالية.
الحل
• تصميم بيئة مصغرة: عزل جهاز التصوير بوحدات فلتر المروحة (FFU) بالإضافة إلى فلاتر كيميائية لـ AMC. تم تحقيق تصنيف ISO 4 داخل نطاق الأداة.
•عزل اهتزاز نشط: كتلة خرسانية قصورية + عوازل هوائية لتلبية معايير VC-D.
•نظام تكييف هواء عالي الدقة: حلقات مياه مبردة مزدوجة مع إعادة تسخين، بالإضافة إلى أطراف حجم هواء متغير (VAV). تم قياس توحيد درجة الحرارة عند ±0.08 درجة مئوية.
•ألواح مسبقة الصنع: ألواح من الفولاذ المقاوم للصدأ مصنعة خارج الموقع مع وصلات قفل كام. تم تركيبها خلال فترة صيانة مخطط لها - اكتملت في 25 يومًا.
ملاحظات العميل
"فهمت يانينغ متطلبات أدواتنا بشكل أفضل من مقاولي الغرف النظيفة الآخرين."
— مدير المنشأة، عميل أشباه الموصلات
ملخص
تتخصص يانينغ في مجال هندسة الغرف النظيفة. نحن ملتزمون بإنشاء بيئات إنتاج نظيفة تعزز كفاءة التصنيع بشكل مباشر. تمثل حلولنا المعيارية خيارًا مثاليًا لمناطق الإنتاج النظيف داخل قطاع التصنيع.
